PLASSYS - 2006 - CVD500 - Système complet de dépôt sous vide/CVD

L'équipement comprend un système complet de dépôt sous vide/CVD avec son électronique de commande, ses composants de vide, ses pompes à vide poussé, ses alimentations RF, ses actionneurs et ses capteurs. Le châssis, initialement fabriqué en 1998, a fait l'objet d'une importante modernisation en 2011 avec des composants plus récents. Le système est vendu en l'état, pour pièces ou à réparer. Le système n'était pas entièrement connecté et ne possédait pas de mot de passe, ce qui empêche tout test supplémentaire.

Le système comprend les principaux composants suivants :

Composants de vide et de pompage
Pompe turbo ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2 aspirateurs Leybold CTR 90 CERAVAC
Jauge à cathode froide compacte PFEIFFER IKR 251
Vanne d'angle à vide TVA 26432-KA41-0001/0319
Valve de vide VAT supplémentaire de grande taille
Grand ensemble de vannes à vide poussé
Système d'actionnement : actionneur linéaire THC-8AWDS (course de 400 mm)
Divers capteurs, notamment de pression, de température et de commutation
Divers actionneurs, notamment des électrovannes et des éléments chauffants
Cadre CVD (SP-500 d'origine, modifié en 2011)
Armoire de contrôle du débit massique (incluse)

Alimentation RF et puissance
Amplificateur RF Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Unité RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (non fonctionnel – ne s'allume pas)
Puissance RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
Alimentation TDK Lambda GEN40-125

Unité de commande et électronique
Contrôleur ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
Contrôleur de soupape d'échappement MKS Type 252C-1-VPO
Contrôleur de pression automatique MKS Type 152
Contrôleur de pression automatique MKS Type 600
MKS Type 2708
PC rackable 19″ (aucun mot de passe pour le logiciel de contrôle) Mise sur palette et chargement a faire par l'acheteur sur place